薄膜および配線構造体の内部応力と原子輸送

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Material Type: 図書
Title: 薄膜および配線構造体の内部応力と原子輸送
Title Transcription: ハクマクオヨビハイセンコウゾウタイノナイブオウリョクトゲンシユソウ
Author/Editor: 英, 崇夫, 徳島大学
Author Heading: 英, 崇夫ハナブサ, タカオ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 薄膜ハクマク
Cu膜 CUマク
X線応力測定 Xセンオウリヨクソクテイ
熱応力ネツオウリヨク
ストレスマグレーシヨンストレスマグレーシヨン
熱サイクルネツサイクル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650092
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650092
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007064206
http://id.ndl.go.jp/bib/000007064206
Bibliographic Record Category (NDL): 214