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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- チョウ LSI セイゾウヨウ ガスフローメーターステンレス サイカン ナイヘキ ノ チョウセイミツ ケンマ
- Author/Editor
- 黒部, 利次, 金沢大学
- Author Heading
- 黒部, 利次 クロベ, トシジ
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)