炭化ケイ素結晶のシリコン上直接エピタキシヤル成長過程の原子レベルモニター

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Material Type: 図書
Title: 炭化ケイ素結晶のシリコン上直接エピタキシヤル成長過程の原子レベルモニター
Title Transcription: タンカケイソケッショウノシリコンジョウチョクセツエピタキシヤルセイチョウカテイノゲンシレベルモニター
Author/Editor: 安井, 寛治, 長岡技術科学大学
Author Heading: 安井, 寛治ヤスイ, カンジ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 立方晶炭化ケイ素リツポウシヨウタンカケイソ
水素ラジカルスイソラジカル
原子レベルモニターゲンシレベルモニター
エピタキシヤル成長エピタキシヤルセイチヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650028
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650028
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067129
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067129
Bibliographic Record Category (NDL): 214