3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究
• Title Transcription: 3C-SiC ハクマク エピ セイチョウ ニ オケル フジュンブツ サンソ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 孫, 勇, 九州工業大学
• Author Heading: 孫, 勇 ソン, ユウ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 3C-SiC薄膜 3C-SICハクマク; エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ; スパツタリング スパツタリング; 水素プラズマ スイソプラズマ; 不純物酸素 フジユンブツサンソ; ドーピング ドーピング; 欠陥 ケツカン; 成長メカニズム セイチヨウメカニズム
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650029
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650029
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007067130; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067130
• Bibliographic Record Category (NDL): 214