フイールドをぼかし接続する投影露光リソグラフイ技術の研究

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Material Type: 図書
Title: フイールドをぼかし接続する投影露光リソグラフイ技術の研究
Title Transcription: フイールドオボカシセツゾクスルトウエイロコウリソグラフイギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 堀内, 敏行, 東京電機大学
Author Heading: 堀内, 敏行ホリウチ, トシユキ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ぼかしフイールド接続ボカシフイールドセツゾク
投影露光トウエイロコウ
スキヤン露光スキヤンロコウ
リソグラフイリソグラフイ
露光フイールドロコウフイールド
ぼかし接続ボカシセツゾク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650050
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650050
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067146
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067146
Bibliographic Record Category (NDL): 214