高静水圧環境を利用した硬脆材料の無欠陥切削加工

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Material Type: 図書
Title: 高静水圧環境を利用した硬脆材料の無欠陥切削加工
Title Transcription: コウセイスイアツカンキョウオリヨウシタコウゼイザイリョウノムケッカンセッサクカコウ
Author/Editor: 吉野, 雅彦, 東京工業大学
Author Heading: 著者：吉野, 雅彦, 1960- ヨシノ, マサヒコ, 1960- ( 00879143 )Authorities
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 高静水圧コウセイスイアツ
切削加工セツサクカコウ
硬脆材料コウゼイザイリヨウ
加工欠陥カコウケツカン
施削シサク
水晶スイシヨウ
シリコンウエーフアーシリコンウエーフアー
加工試験カコウシケン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650117
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650117
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067186
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067186
Bibliographic Record Category (NDL): 214