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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ハンノウセイ スパツタリングホウ ニ ヨル ドウデンセイ Rh サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ ブッセイ
- Author/Editor
- 阿部, 良夫, 北見工業大学
- Author Heading
- 阿部, 良夫 アベ, ヨシオ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング導電性酸化物薄膜 ドウデンセイサンカブツハクマク