反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
• Title Transcription: ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル チッカ 3-5 ゾク ハンドウタイ ノ サクセイ オヨビ ソノ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 宮崎卓幸, 群馬大学
• Author Heading: 宮崎, 卓幸 ミヤザキ, タカユキ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999; 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 窒化物半導体 チツカブツハンドウタイ; 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング; 非晶質半導体 ヒシヨウシツハンドウタイ; 分光エリプソメータ ブンコウエリプソメータ; 誘電率 ユウデンリツ; 光学的性質 コウガクテキセイシツ; バンドギヤツプ バンドギヤツプ; 偏光分光解析 ヘンコウブンコウカイセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650312
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650312
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007067339; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067339
• Bibliographic Record Category (NDL): 214