オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミツクスの酸化機構解明

• Material Type: 図書
• Title: オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミツクスの酸化機構解明
• Title Transcription: オゾンガス ニ ヨル シリコン オヨビ シリコンキ セラミツクス ノ サンカ キコウ カイメイ
• Author/Editor: 成島, 尚之, 東北大学
• Author Heading: 成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: オゾン オゾン; 酸化 サンカ; シリコン シリコン; 炭化ケイ素 タンカケイソ; シリカ シリカ; 放物線則 ホウブツセンソク; 速度論 ソクドロン; 律速段階 リツソクダンカイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650730
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650730
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007067595; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067595
• Bibliographic Record Category (NDL): 214