粒子シミユレーシヨンによる反応性プラズマダイナミクスの解明

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Material Type: 図書
Title: 粒子シミユレーシヨンによる反応性プラズマダイナミクスの解明
Title Transcription: リュウシシミユレーシヨンニヨルハンノウセイプラズマダイナミクスノカイメイ
Author/Editor: 浜口, 智志, 京都大学
Author Heading: 著者：浜口, 智志ハマグチ, サトシ ( 01238025 )Authorities
京都大学キョウトダイガク ( 00289990 )Authorities
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: プラズマプロセスプラズマプロセス
PIC-MCC PIC-MCC
RF放電 RFホウデン
粒子シミユレーシヨンリユウシシミユレーシヨン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11680484
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11680484
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007069734
http://id.ndl.go.jp/bib/000007069734
Bibliographic Record Category (NDL): 214