シリコン結晶のシエアモード研削と加工変質層の評価

• Material Type: 図書
• Title: シリコン結晶のシエアモード研削と加工変質層の評価
• Title Transcription: シリコン ケッショウ ノ シエアモード ケンサク ト カコウ ヘンシツソウ ノ ヒョウカ
• Author/Editor: 荻田, 陽一郎, 神奈川工科大学
• Author Heading: 荻田, 陽一郎 オギタ, ヨウイチロウ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: シエアモード研削 シエアモードケンサク; シリコンウエーハ シリコンウエーハ; 研削加工変質層 ケンサクカコウヘンシツソウ; 研削ホイール ケンサクホイール; 超音波振動研削 チヨウオンパシンドウケンサク; エンジニアリングツール エンジニアリングツール; 鏡面研磨ダメージ キヨウメンケンマダメージ; 光導電減衰法 コウドウデンゲンスイホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10045053
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10045053
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007070833; http://id.ndl.go.jp/bib/000007070833
• Bibliographic Record Category (NDL): 214