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シリコン表面ナノホールの生成メカニズム

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シリコン表面ナノホールの生成メカニズム

Call No. (NDL)
Y151-H10305006
Bibliographic ID of National Diet Library
000007070895
Material type
図書
Author
竹田, 精治, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書2冊

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコン ヒョウメン ナノホール ノ セイセイ メカニズム
Author/Editor
竹田, 精治, 大阪大学
Author Heading
竹田, 精治 タケダ, セイジ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
シリコン シリコン
表面 ヒヨウメン
ナノ構造 ナノコウゾウ
電子線照射 デンシセンシヨウシヤ
点欠陥 テンケツカン