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サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

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サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

Call No. (NDL)
Y151-H10305010
Bibliographic ID of National Diet Library
000007070898
Material type
図書
Author
大谷, 隆一, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
サブミクロン デンイ ブンプ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ ニ ヨル デンシ デバイス ナイ ノ カイメン ハクリ ・ ゲンシ ユソウ ノ ソクテイ
Author/Editor
大谷, 隆一, 京都大学
Author Heading
大谷, 隆一 オオタニ, リュウイチ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
走査型プローブ顕微鏡 ソウサガタプローブケンビキヨウ
電位分布測定装置 デンイブンプソクテイソウチ
電位場解析 デンイバカイセキ