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バリスタやPTCR特性セラミツクス薄膜の成膜技術の確立と特性発現メカニズムの解明

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バリスタやPTCR特性セラミツクス薄膜の成膜技術の確立と特性発現メカニズムの解明

Call No. (NDL)
Y151-H10355025
Bibliographic ID of National Diet Library
000007071011
Material type
図書
Author
水谷, 惟恭, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
バリスタ ヤ PTCR トクセイ セラミツクス ハクマク ノ セイマク ギジュツ ノ カクリツ ト トクセイ ハツゲン メカニズム ノ カイメイ
Author/Editor
水谷, 惟恭, 東京工業大学
Author Heading
水谷, 惟恭 ミズタニ, ノブヤス
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
チタン酸バリウム チタンサンバリウム
薄膜 ハクマク
半導性 ハンドウセイ
スパツタリング スパツタリング
MOCVD MOCVD