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極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明

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極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明

Call No. (NDL)
Y151-H10450020
Bibliographic ID of National Diet Library
000007071394
Material type
図書
Author
服部, 健雄, 武蔵工業大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴクウス シリコン サンカマク/シリコン カイメン ノ キヤリア ホカク ジュンイ ト ビシテキ コウゾウ ト ノ カンケイ ノ カイメイ
Author/Editor
服部, 健雄, 武蔵工業大学
Author Heading
服部, 健雄 ハットリ, タケオ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコン酸化膜 シリコンサンカマク
Si-SiO2 SI-SIO2
界面構造 カイメンコウゾウ
弾性散乱 ダンセイサンラン
非弾性散乱 ヒダンセイサンラン
光電子回折 コウデンシカイセツ
価電子帯 カデンシタイ
第一原理分子軌道計算 ダイイチゲンリブンシキドウケイサン