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単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究

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単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究

Call No. (NDL)
Y151-H10450118
Bibliographic ID of National Diet Library
000007071431
Material type
図書
Author
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンケッショウ アルミナ ト シリコン ニ ヨル キョクハクマク タソウ コウゾウ ノ リョウシ デバイス オウヨウ ヘ ノ キソ ケンキュウ
Author/Editor
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
Author Heading
著者 : 石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )Authorities
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
SOI構造 SOIコウゾウ
単結晶Al2O3薄膜 タンケツシヨウAL2O3ハクマク
MBE法 MBEホウ
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
薄膜シリコン ハクマクシリコン
量子デバイス リヨウシデバイス