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縦型共鳴トンネル構造の共鳴/非共鳴条件による動作機能可変SOI量子デバイスの研究

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縦型共鳴トンネル構造の共鳴/非共鳴条件による動作機能可変SOI量子デバイスの研究

Call No. (NDL)
Y151-H10450123
Bibliographic ID of National Diet Library
000007071434
Material type
図書
Author
森田, 瑞穂, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タテガタ キョウメイ トンネル コウゾウ ノ キョウメイ/ヒキョウメイ ジョウケン ニ ヨル ドウサ キノウ カヘン SOI リョウシ デバイス ノ ケンキュウ
Author/Editor
森田, 瑞穂, 大阪大学
Author Heading
森田, 瑞穂 モリタ, ミズホ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
半導体デバイス ハンドウタイデバイス
半導体プロセス ハンドウタイプロセス
シリコン シリコン
シリコン酸化膜 シリコンサンカマク
シリコン・オン・インシユレータ シリコン・オン・インシユレータ