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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タテガタ キョウメイ トンネル コウゾウ ノ キョウメイ/ヒキョウメイ ジョウケン ニ ヨル ドウサ キノウ カヘン SOI リョウシ デバイス ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 森田, 瑞穂, 大阪大学
- Author Heading
- 森田, 瑞穂 モリタ, ミズホ
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 半導体デバイス ハンドウタイデバイス半導体プロセス ハンドウタイプロセスシリコン シリコンシリコン酸化膜 シリコンサンカマクシリコン・オン・インシユレータ シリコン・オン・インシユレータ