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シリコン結晶成長系における高温熱化学反応と熱・物質移動現象

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シリコン結晶成長系における高温熱化学反応と熱・物質移動現象

Call No. (NDL)
Y151-H11450009
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072673
Material type
図書
Author
干川, 圭吾, 信州大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコン ケッショウ セイチョウケイ ニ オケル コウオン ネツ カガク ハンノウ ト ネツ ・ ブッシツ イドウ ゲンショウ
Author/Editor
干川, 圭吾, 信州大学
Author Heading
著者 : 干川, 圭吾, 1942- ホシカワ, ケイゴ, 1942- ( 00350989 )Authorities
信州大学 シンシュウ ダイガク ( 00259498 )Authorities
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
CZ-Si結晶 CZ-SIケツシヨウ
高温熱化学反応 コウオンネツカガクハンノウ
熱・物質移動現象 ネツ・ブツシツイドウゲンシヨウ
石英るつぼ セキエイルツボ
Si融液 SIユウエキ
SiOガス SIOガス
成長界面 セイチヨウカイメン
無転位結晶 ムテンイケツシヨウ