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3族窒化物半導体気相成長における応力制御による転位低減とその場観察法の確立

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3族窒化物半導体気相成長における応力制御による転位低減とその場観察法の確立

Call No. (NDL)
Y151-H11450131
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072728
Material type
図書
Author
天野, 浩, 名城大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
3 ゾク チッカブツ ハンドウタイ キソウ セイチョウ ニ オケル オウリョク セイギョ ニ ヨル テンイ テイゲン ト ソノ バ カンサツホウ ノ カクリツ
Author/Editor
天野, 浩, 名城大学
Author Heading
著者 : 天野, 浩, 1960- アマノ, ヒロシ, 1960- ( 01180889 )Authorities
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
III族窒化物半導体 IIIゾクチツカブツハンドウタイ
貫通転位 カンツウテンイ
転位応力 テンイオウリヨク
有機金属化合物気相成長法 ユウキキンゾクカゴウブツキソウセイチヨウホウ
透過電子顕微鏡 トウカデンシケンビキヨウ
鏡像転位 キヨウゾウテンイ