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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ゲート デンキョク-タイケイ センイ キンゾク チッカブツ キョクビ フイールドエミツタアレイ ノ シサク
- Author/Editor
- 後藤, 康仁, 京都大学
- Author Heading
- 後藤, 康仁 ゴトウ, ヤスヒト
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 窒化ニオブ薄膜 チツカニオブハクマク極微フイールドエミツタアレイ キヨクビフイールドエミツタアレイゲート電極 ゲートデンキヨクイオンビーム援用蒸着 イオンビームエンヨウジヨウチヤク転写モールド法 テンシヤモールドホウエツチバツク法 エツチバツクホウテトラメチルアンモニウムヒドロキシド テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水酸化カリウム スイサンカカリウム