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図書

新機能液晶デバイスを用いた三次元形状の顕微計測システムの開発

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新機能液晶デバイスを用いた三次元形状の顕微計測システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H11555012
Bibliographic ID of National Diet Library
000007073201
Material type
図書
Author
武田, 光夫, 電気通信大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シン キノウ エキショウ デバイス オ モチイタ サンジゲン ケイジョウ ノ ケンビケイソク システム ノ カイハツ
Author/Editor
武田, 光夫, 電気通信大学
Author Heading
著者 : 武田, 光夫, 1946- タケダ, ミツオ, 1946- ( 00219486 )Authorities
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
スペクトル干渉 スペクトルカンシヨウ
三次元形状計測 3ジゲンケイジヨウケイソク
干渉顕微鏡 カンシヨウケンビキヨウ
液晶フアブリーペロー エキシヨウフアブリーペロー
光周波数走査 ヒカリシユウハスウソウサ
光波長走査 ヒカリハチヨウソウサ
干渉計測 カンシヨウケイソク
光応用計測 ヒカリオウヨウケイソク