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MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

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MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

Call No. (NDL)
Y151-H11650326
Bibliographic ID of National Diet Library
000007074899
Material type
図書
Author
芝原, 健太郎, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
MOS トランジスタ ノ ソース ・ ドレイン キンボウ デ ノ ドーパント 2 ジゲン ヒロガリ ソクテイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
芝原, 健太郎, 広島大学
Author Heading
芝原, 健太郎 シバハラ, ケンタロウ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
シリコン シリコン
ドーパント ドーパント
2次元分布 2ジゲンブンプ
SEM SEM