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電子・イオン・レーザビームを備えたダイヤモンド用複合精密加工装置の試作

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電子・イオン・レーザビームを備えたダイヤモンド用複合精密加工装置の試作

Call No. (NDL)
Y151-H12650123
Bibliographic ID of National Diet Library
000007076731
Material type
図書
Author
宮本, 岩男, 東京理科大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ ・ イオン ・ レーザビーム オ ソナエタ ダイヤモンドヨウ フクゴウ セイミツ カコウ ソウチ ノ シサク
Author/Editor
宮本, 岩男, 東京理科大学
Author Heading
宮本, 岩男 ミヤモト, イワオ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
ダイヤモンド ダイヤモンド
FIB FIB
SOG SOG
ECR ECR
RIE RIE