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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- デンシ ビームレイキプラズマイオンプレーテイングホウ ニ ヨル コウキノウ チョウデンドウ トンネル セツゴウ ノ サクセイ
- Author/Editor
- 諸橋, 信一, 山口大学
- Author Heading
- 諸橋, 信一 ヒロハシ, シンイチ
- Publication Date
- 2000-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 超伝導トンネル接合 チヨウデンドウトンネルセツゴウ超高真空電子ビーム蒸着 チヨウコウシンクウデンシビームジヨウチヤク超伝導Nb薄膜 チヨウデンドウNBハクマクAlOxトンネルバリア ALOXトンネルバリアSiO2層間絶縁膜 SIO2ソウカンゼツエンマク