光導波路を用いた極薄膜および膜成長中におけるプラズマ反応の計測法に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 光導波路を用いた極薄膜および膜成長中におけるプラズマ反応の計測法に関する研究
• Title Transcription: ヒカリドウハロ オ モチイタ ゴキョクハクマク オヨビ マク セイチョウ チュウ ニ オケル プラズマ ハンノウ ノ ケイソクホウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 加藤, 勇, 早稲田大学
• Author Heading: 加藤, 勇 カトウ, イサム
• Publication Date: 1997-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; プラズマCVD プラズマCVD; その場測定 ソノバソクテイ; プラズマ計測 プラズマケイソク; 極薄膜 キヨクハクマク; 近接場光学 キンセツバコウガク; エバネツセントフイールド エバネツセントフイールド; 光フアイバーセンサ ヒカリフアイバーセンサ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555132
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555132
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007077073; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077073
• Bibliographic Record Category (NDL): 214