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単分散超微細ナノ結晶シリコンの作製と配列制御

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単分散超微細ナノ結晶シリコンの作製と配列制御

Call No. (NDL)
Y151-H11450008
Bibliographic ID of National Diet Library
000007077636
Material type
図書
Author
小田, 俊理, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンブンサン チョウビサイ ナノ ケッショウ シリコン ノ サクセイ ト ハイレツ セイギョ
Author/Editor
小田, 俊理, 東京工業大学
Author Heading
著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
ナノ結晶シリコン ナノケツシヨウシリコン
プラズマCVD プラズマCVD
量子ドツト リヨウシドツト
ストレス下の酸化 ストレスカノサンカ
透過型電子顕微鏡観察 トウカガタデンシケンビキヨウカンサツ
フオトルミネツセンス フオトルミネツセンス
リンガラス低温融解 リンガラステイオンユウカイ
電子放出素子 デンシホウシユツソシ