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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タンブンサン チョウビサイ ナノ ケッショウ シリコン ノ サクセイ ト ハイレツ セイギョ
- Author/Editor
- 小田, 俊理, 東京工業大学
- Author Heading
- 著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- ナノ結晶シリコン ナノケツシヨウシリコンプラズマCVD プラズマCVD量子ドツト リヨウシドツトストレス下の酸化 ストレスカノサンカ透過型電子顕微鏡観察 トウカガタデンシケンビキヨウカンサツフオトルミネツセンス フオトルミネツセンスリンガラス低温融解 リンガラステイオンユウカイ電子放出素子 デンシホウシユツソシ