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超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用

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超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用

Call No. (NDL)
Y151-H11450030
Bibliographic ID of National Diet Library
000007077644
Material type
図書
Author
片岡, 俊彦, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウタンパルスコウ ニ ヨル ナノ ビショウ リョウイキ ヘ ノ キンセツジョウ ノ キョクザイカ ト ゴク ビサイ カコウ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
片岡, 俊彦, 大阪大学
Author Heading
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
走査型近接場光学顕微鏡 ソウサガタキンセツバコウガクケンビキヨウ
エバネセント場 エバネセントバ
Tiサフアイアレーザー TIサフアイアレーザー
微小共振球 ビシヨウキヨウシンキユウ
極微小突起 キヨクビシヨウトツキ
フオトレジスト フオトレジスト
WGMモード WGMモード
HeCdレーザー HECDレーザー