マイクロアイスジエツトの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

• Material Type: 図書
• Title: マイクロアイスジエツトの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用
• Title Transcription: マイクロアイスジエツト ノ セイセイ ト 3 ジゲン ハンドウタイ ソシヨウソウ カン ゼツエンマク ノ センタクテキ カコウホウ ヘ ノ テキヨウ
• Author/Editor: 厨川, 常元, 東北大学
• Author Heading: 厨川, 常元 クリヤガワ, ツネモト
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: アブレイシブジエツト加工 アブレイシブジエツトカコウ; 噴射加工 フンシヤカコウ; 層間絶縁膜 ソウカンゼツエンマク; アイスジエツト アイスジエツト; ばり取り バリトリ; 選択的加工 センタクテキカコウ; ビア ビア; 洗浄 センジヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450051
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11450051
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007077656; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077656
• Bibliographic Record Category (NDL): 214