図書

高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究

Icons representing 図書

高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H11450297
Bibliographic ID of National Diet Library
000007077765
Material type
図書
Author
越, 光男, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウオン キンゾク ヒョウメン ニ オケル シラン ノ ブンカイ ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
越, 光男, 東京大学
Author Heading
越, 光男 コシ, ミツオ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シラン シラン
ホツトフイラメント ホツトフイラメント
反応素過程 ハンノウソカテイ
CVD CVD
表面反応 ヒヨウメンハンノウ
アモルフアス アモルフアス
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
ドツプラー分光 ドツプラーブンコウ