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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- デンシ ケンビキョウ ナイ マイクロプロセス ・ マイクロフアブリケーシヨン システム コウチク ト ジッケン
- Author/Editor
- 江田, 弘, 茨城大学
- Author Heading
- 著者 ： 江田, 弘, 1942- エダ, ヒロシ, 1942- ( 00319109 )Authorities
- Publication Date
- 1998-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- 電子顕微鏡 デンシケンビキヨウマイクロマシニング マイクロマシニングマイクロマニフアクチヤリング マイクロマニフアクチヤリングマイクロフアブリケーシヨン マイクロフアブリケーシヨンマニピユレータ マニピユレータマンーマシンインターフエイス マンーマシンインターフエイス画像処理 ガゾウシヨリアクチユエータ アクチユエータ