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図書

電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

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電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H11305004
Bibliographic ID of National Diet Library
000007080438
Material type
図書
Author
後藤, 俊夫, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ オンド セイギョ プラズマ ニ ヨル ラジカル ノ タンショクカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
後藤, 俊夫, 名古屋大学
Author Heading
著者 : 後藤, 俊夫, 1941- ゴトウ, トシオ, 1941- ( 00292248 )Authorities
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
プラズマ プラズマ
電子温度 デンシオンド
ラジカル ラジカル
単色化 タンシヨクカ
エツチング エツチング
CVD CVD
プロセス プロセス
気相反応 キソウハンノウ