光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

• Material Type: 図書
• Title: 光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用
• Title Transcription: コウガク チョウハクマク オ モチイタ ナン Xセン カンショウ ケイソクホウ ノ カイハツ ト セイミツ ケツゾウキョウ ノ ハンシャ ハメン ケイソク セイギョ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 山本, 正樹, 東北大学
• Author Heading: 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 軟X線 ナンXセン; 多層膜 タソウマク; ビームスプリツタ ビームスプリツタ; 干渉計 カンシヨウケイ; 波面計測 ハメンケイソク; 波面補正 ハメンホセイ; 結像光学系 ケツゾウコウガクケイ; 光学超薄膜 コウガクチヨウハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11305009
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11305009
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007080441; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080441
• Bibliographic Record Category (NDL): 214