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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- キユービツクインテグレーシヨン ギジュツ オ モチイタ ウエーハスケール ヘイレツ ショリ システム ノ シサク
- Author/Editor
- 小柳, 光正, 東北大学
- Author Heading
- 著者 ： 小柳, 光正, 1947- コヤナギ, ミツマサ, 1947- ( 00157389 )Authorities
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- 3次元集積化技術 3ジゲンシユウセキカギジユツ並列処理 ヘイレツシヨリウエーハレベルインテグレーシヨン ウエーハレベルインテグレーシヨンシステム オン チツプ システムオンチツプウエーハ張り合わせ技術 ウエーハハリアワセギジユツメモリー メモリー半導体技術 ハンドウタイギジユツLSI集積化技術 LSIシユウセキカギジユツ