電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルフアブリケーシヨンシステムの試作

• Material Type: 図書
• Title: 電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルフアブリケーシヨンシステムの試作
• Title Transcription: デンキ ネンセイ リュウタイ オ エンヨウ シタ チョウヘイカツ マイクロメカニカルフアブリケーシヨン システム ノ シサク
• Author/Editor: 厨川, 常元, 東北大学
• Author Heading: 厨川, 常元 クリヤガワ, ツネモト
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 電気粘性流体 デンキネンセイリユウタイ; マイクロ非球面 マイクロヒキユウメン; 鏡面研削 キヨウメンケンサク; 研磨 ケンマ; セラミツクス セラミツクス; ダイヤモンド砥石 ダイヤモンドトイシ; パラレル研削 パラレルケンサク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555038
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11555038
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007080972; http://id.ndl.go.jp/bib/000007080972
• Bibliographic Record Category (NDL): 214