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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- フクサンカブツ ハクマク ノ プラズマ CVD ソウチ シミユレーシヨンコード ノ カイハツ
- Author/Editor
- 今石, 宣之, 九州大学
- Author Heading
- 今石, 宣之 イマイシ, ノブユキ
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)