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アセタール骨格を有する環境適応型感光性ポリイミドの合成と性能試験

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アセタール骨格を有する環境適応型感光性ポリイミドの合成と性能試験

Call No. (NDL)
Y151-H11555247
Bibliographic ID of National Diet Library
000007081065
Material type
図書
Author
柿本, 雅明, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アセタール コッカク オ ユウスル カンキョウ テキオウガタ カンコウセイ ポリイミド ノ ゴウセイ ト セイノウ シケン
Author/Editor
柿本, 雅明, 東京工業大学
Author Heading
著者 : 柿本, 雅明, 1951- カキモト, マサアキ, 1951- ( 00919507 )Authorities
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
感光性 カンコウセイ
フオトレジスト フオトレジスト
芳香族ポリイミド ホウコウゾクポリイミド
直接重縮合法 チヨクセツジユウシユクゴウホウ
アセタール アセタール
光酸発生剤 ヒカリサンハツセイザイ
吸収 キユウシユウ
酸分解 サンブンカイ