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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロマシン ギジュツ オ オウヨウ シタ ジュッチュウ シヨウ カノウ ナ ジショウコツ カドウセイ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 和田, 仁, 東北大学
- Author Heading
- 著者 ： 和田, 仁 ワダ, ヒロシ ( 01074353 )Authorities東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )Authorities
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)