次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発

• Material Type: 図書
• Title: 次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発
• Title Transcription: ジセダイ ヒカリ リソグラフイー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フツカブツタンケッショウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 福田, 承生, 東北大学
• Author Heading: 福田, 承生 フクダ, ツグオ
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: LiCaAlF6 LICAALF6; KMgF3 KMGF3; BaLiF3 BALIF3; F2レーザー F2レーザー; 光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー; 硝材 シヨウザイ; 真空紫外域 シンクウシガイイキ; 単結晶 タンケツシヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555001
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555001
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007082280; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082280
• Bibliographic Record Category (NDL): 214