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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロ ・ ナノマシニング ギジュツ オ モチイタ コウミツド キロク デバイス
- Author/Editor
- 小野, 崇人, 東北大学
- Author Heading
- 著者 : 小野, 崇人, 1967- オノ, タカヒト, 1967- ( 001238556 )Authorities東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )Authorities
- Publication Date
- 2000-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)