半導体ダイヤモンドAFMプローブを用いた多機能ナノ計測一体型超微細加工システム

• Material Type: 図書
• Title: 半導体ダイヤモンドAFMプローブを用いた多機能ナノ計測一体型超微細加工システム
• Title Transcription: ハンドウタイ ダイヤモンド AFM プローブ オ モチイタ タキノウ ナノ ケイソク イッタイガタ チョウビサイ カコウ システム
• Author/Editor: 牧野, 英司, 北海道大学
• Author Heading: 牧野, 英司 マキノ, エイジ
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; プローブ プローブ; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; 圧電薄膜 アツデンハクマク; ナノ計測 ナノケイソク; 超微細加工 チヨウビサイカコウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555067
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555067
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007082304; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082304
• Bibliographic Record Category (NDL): 214