サブミクロンサイズの超微小試験片用汎用材料試験装置の開発

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Material Type: 図書
Title: サブミクロンサイズの超微小試験片用汎用材料試験装置の開発
Title Transcription: サブミクロンサイズノチョウビショウシケンヘンヨウハンヨウザイリョウシケンソウチノカイハツ
Author/Editor: 肥後, 矢吉, 東京工業大学
Author Heading: 肥後, 矢吉ヒゴ, ヤキチ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 次世代型超アイクロマシンジセイダイガタチヨウアイクロマシン
汎用微小材料試験装置ハンヨウビシヨウザイリヨウシケンソウチ
サブミクロンサイズサブミクロンサイズ
MEMS (Micro Electro Mechanical System) MEMS (MICROELECTROMECHANICALSYSTEM)
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555186
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12555186
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007082352
http://id.ndl.go.jp/bib/000007082352
Bibliographic Record Category (NDL): 214