高効率マイクロ波放電プラズマによる機能性薄膜形成

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Material Type: 図書
Title: 高効率マイクロ波放電プラズマによる機能性薄膜形成
Title Transcription: コウコウリツマイクロハホウデンプラズマニヨルキノウセイハクマクケイセイ
Author/Editor: 藤田, 順治, 大同工業大学
Author Heading: 藤田, 順治フジタ, ジュンジ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: プラズマ応用プラズマオウヨウ
薄膜形成ハクマクケイセイ
機能性薄膜キノウセイハクマク
プラズマ分光プラズマブンコウ
プラズマ化学反応プラズマカガクハンノウ
マイクロ波放電マイクロハホウデン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12558047
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12558047
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007082517
http://id.ndl.go.jp/bib/000007082517
Bibliographic Record Category (NDL): 214