Ti-Ni形状記憶合金スパツタ薄膜を用いたマイクロアクチユエ-タの作製

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Material Type: 図書
Title: Ti-Ni形状記憶合金スパツタ薄膜を用いたマイクロアクチユエ-タの作製
Title Transcription: Ti-Ni ケイジョウキオクゴウキンスパツタハクマクオモチイタマイクロアクチユエ-タノサクセイ
Author/Editor: 宮崎, 修一, 筑波大学
Author Heading: 著者：宮崎, 修一, 1950- ミヤザキ, シュウイチ, 1950- ( 00839252 )Authorities
Publication Date: 1998-2000
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: Ti-Ni TI-NI
形状記憶合金ケイジヨウキオクゴウキン
マイクロアクチユエ-タマイクロアクチユエ-タ
スパツタ法スパツタホウ
薄膜ハクマク
マルテンサイト変態マルテンサイトヘンタイ
マイクロマシンマイクロマシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555210
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555210
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007082715
http://id.ndl.go.jp/bib/000007082715
Bibliographic Record Category (NDL): 214