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高密度水素ラジカルを利用した高効率太陽電池用微結晶シリコン薄膜の製作

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高密度水素ラジカルを利用した高効率太陽電池用微結晶シリコン薄膜の製作

Call No. (NDL)
Y151-H11680503
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082868
Material type
図書
Author
上迫, 浩一, 東京農工大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
高密度水素ラジカルを利用した高効率太陽電池用微結晶シリコン薄膜の製作
Title Transcription
コウミツド スイソ ラジカル オ リヨウ シタ コウコウリツ タイヨウ デンチヨウ ビケッショウ シリコン ハクマク ノ セイサク
Author/Editor
上迫, 浩一, 東京農工大学
Author Heading
上迫, 浩一 カミサコ, コウイチ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
微結晶シリコン ビケツシヨウシリコン
水素ラジカル スイソラジカル
シリコン薄膜太陽電池 シリコンハクマクタイヨウデンチ