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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- レイキガス フンイキ カ ノ ヒョウメン プロセス ノ ヒカリ ・ イオン ニ ヨル ドウジ ソノ バ カンサツ
- Author/Editor
- 片山, 光浩, 大阪大学
- Author Heading
- 片山, 光浩 カタヤマ, ミツヒロ
- Publication Date
- 2000-2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- 励起ガス雰囲気下表面プロセス レイキガスフンイキカヒヨウメンプロセス低速イオン散乱反跳分光法 テイソクイオンサンランハンチヨウブンコウホウ全反射赤外分光法 ゼンハンシヤセキガイブンコウホウ表面水素 ヒヨウメンスイソ吸着状態 キユウチヤクジヨウタイプラズマ プラズマ励起原子照射 レイキゲンシシヨウシヤ表面窒化 ヒヨウメンチツカ