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図書

励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察

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励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察

Call No. (NDL)
Y151-H12305005
Bibliographic ID of National Diet Library
000007084079
Material type
図書
Author
片山, 光浩, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
2000-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レイキガス フンイキ カ ノ ヒョウメン プロセス ノ ヒカリ ・ イオン ニ ヨル ドウジ ソノ バ カンサツ
Author/Editor
片山, 光浩, 大阪大学
Author Heading
片山, 光浩 カタヤマ, ミツヒロ
Publication Date
2000-2002
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
励起ガス雰囲気下表面プロセス レイキガスフンイキカヒヨウメンプロセス
低速イオン散乱反跳分光法 テイソクイオンサンランハンチヨウブンコウホウ
全反射赤外分光法 ゼンハンシヤセキガイブンコウホウ
表面水素 ヒヨウメンスイソ
吸着状態 キユウチヤクジヨウタイ
プラズマ プラズマ
励起原子照射 レイキゲンシシヨウシヤ
表面窒化 ヒヨウメンチツカ