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内部摩擦の微小塑性理論の発展と金属薄膜の力学特性評価への応用

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内部摩擦の微小塑性理論の発展と金属薄膜の力学特性評価への応用

Call No. (NDL)
Y151-H12450258
Bibliographic ID of National Diet Library
000007084561
Material type
図書
Author
西野, 洋一, 名古屋工業大学
Publisher
-
Publication date
2000-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナイブ マサツ ノ ビショウ ソセイ リロン ノ ハッテン ト キンゾク ハクマク ノ リキガク トクセイ ヒョウカ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
西野, 洋一, 名古屋工業大学
Author Heading
西野, 洋一 ニシノ, ヨウイチ
Publication Date
2000-2002
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
内部摩擦 ナイブマサツ
微小塑性 ビシヨウソセイ
薄膜材料 ハクマクザイリヨウ
LSI配線 LSIハイセン
金薄膜 キンハクマク
転位 テンイ
機械的性質 キカイテキセイシツ
塑性変形 ソセイヘンケイ