高清浄ECRプラズマCVDによる高機能性ナノクリスタルGe膜の作製

• Material Type: 図書
• Title: 高清浄ECRプラズマCVDによる高機能性ナノクリスタルGe膜の作製
• Title Transcription: コウセイジョウ ECR プラズマ CVD ニ ヨル コウキノウセイ ナノクリスタル Ge マク ノ サクセイ
• Author/Editor: 青木, 彪, 東京工芸大学
• Author Heading: 青木, 彪 アオキ, タケシ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: ナノクリスタル ナノクリスタル; アモルフアス アモルフアス; 微結晶 ビケツシヨウ; ゲルマニウム ゲルマニウム; フオトルミネツセンス フオトルミネツセンス; エピタキシヤル エピタキシヤル; CVD CVD; ECRプラズマ ECRプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650325
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12650325
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007086203; http://id.ndl.go.jp/bib/000007086203
• Bibliographic Record Category (NDL): 214