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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ソウサガタ ヒセッショク カト ヨウリョウ ブンコウホウ ノ カイハツ オヨビ ゴクウス サンカマク-シリコン カイメン トクセイ ノ ヒョウカ
- Author/Editor
- 吉田, 晴彦, 姫路工業大学
- Author Heading
- 吉田, 晴彦 ヨシダ, ハルヒコ
- Publication Date
- 2001-2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2001
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)