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図書

微細構造をプラスチツク・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

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微細構造をプラスチツク・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

Call No. (NDL)
Y151-H13450053
Bibliographic ID of National Diet Library
000007087547
Material type
図書
Author
松本, 潔, 東京大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ビサイ コウゾウ オ プラスチツク ・ ガラス ニ カタ テンシャ スル ギジュツ ノ カイハツ ト ソノ プロセス チュウ ノ ゲンショウ ノ カイメイ
Author/Editor
松本, 潔, 東京大学
Author Heading
著者 : 松本, 潔 マツモト, キヨシ ( 001198315 )Authorities
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
知能化金型 チノウカカナガタ
犠牲層マスク ギセイソウマスク
熱流速センサ ネツリユウソクセンサ