微細構造をプラスチツク・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

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Material Type: 図書
Title: 微細構造をプラスチツク・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明
Title Transcription: ビサイコウゾウオプラスチツク・ガラスニカタテンシャスルギジュツノカイハツトソノプロセスチュウノゲンショウノカイメイ
Author/Editor: 松本, 潔, 東京大学
Author Heading: 著者：松本, 潔マツモト, キヨシ ( 001198315 )Authorities
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 知能化金型チノウカカナガタ
犠牲層マスクギセイソウマスク
熱流速センサネツリユウソクセンサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450053
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450053
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007087547
http://id.ndl.go.jp/bib/000007087547
Bibliographic Record Category (NDL): 214