電子デバイスにおける分離可能な接合部形成-リサイクルを考慮した新しいマイクロ接合プロセスの実現可能性

• Material Type: 図書
• Title: 電子デバイスにおける分離可能な接合部形成-リサイクルを考慮した新しいマイクロ接合プロセスの実現可能性
• Title Transcription: デンシ デバイス ニ オケル ブンリ カノウ ナ セツゴウブ ケイセイ-リサイクル オ コウリョ シタ アタラシイ マイクロ セツゴウ プロセス ノ ジツゲン カノウセイ
• Author/Editor: 恩澤, 忠男, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 恩沢, 忠男, 1942- オンザワ, タダオ, 1942- ( 00140925 )Authorities
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 凝着 ギヨウチヤク; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; 超高真空 チヨウコウシンクウ; 分子動力学 ブンシドウリキガク; 結合状態 ケツゴウジヨウタイ; 界面 カイメン; 電子分光 デンシブンコウ; 表面分析 ヒヨウメンブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450292
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13450292
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007087637; http://id.ndl.go.jp/bib/000007087637
• Bibliographic Record Category (NDL): 214